713 搞出光刻机,挺直腰杆子(4k)(5 / 6)
要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。
“除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”
不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。
陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。
“梁博士、尹教授,我们已经投资了博康化学等十几家公司,研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说,“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校,跟我们国内的科研院校,合力打破霓虹这方面的优势。”
“啊?”
梁孟松和尹志尧面面相觑。
“这是公司的绝密,注意保密。”
陆飞郑重地叮嘱,现在需要偷偷摸摸地发育,特别是光刻机,最缺的就是发育时间。
“陆总,孙总,你们放心!”
梁孟松信誓旦旦地保证,就算台积电、三星的光刻机领先逻辑,哪怕制程工艺先突破28nm,甚至20nm也无妨,他能想办法从28nm,跨越22nm、20nm,直接到14nm。
把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间,统统给追回来!
“是不是又要跳代?”
陆飞把眼睛眯成一条缝。
梁孟松点头说:“只要尹总能造出28nm光刻机就够了,别是14nm,就是7nm,我也能你们给搓出来!把光刻机上的劣势给扳回来!就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次?”
“有什么不敢?”
“拼,只管给我拼!不要给我心疼钱,我最不怕花钱,但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军,“老孙,除了德国,霓虹那边也盯紧点,特别是佳能、尼康的动静。”
“尼康那边好像认命了,倒是佳能,选择了另一条道路,研究纳米压印(NIL)。”
孙红军也说不出个所以然。
陆飞让他再探再报,跟进佳能的NIL路线,然后冷不丁来一句,“光刻厂有没有搞头?”
“什么?!”
梁孟松等人一脸震惊。
光刻厂?
只听过光刻机,光刻厂是什么东西?
“咳咳,我是这么想的,ASML的光刻机,为了卖出去,才要小型化、产品化、量产化,这个难度很大,但如果我们把光刻机不做小,而是当基础设施来盖,比如一个足球场大小,是不是可以弥补光源、镜片这些问题?”
陆飞看他们一脸茫然,于是换种说法。
相当于造不出热水器,就建个锅炉房,然后接水龙头,一次性接十几个,能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。
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