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713 搞出光刻机,挺直腰杆子(4k)(2 / 6)

补上。”

“呜呜呜~”

跟曾丽她们暂时分别,陆飞坐上车,马不停蹄地赶到逻辑,孙红军早就在门口等候。

“他们人呢?”

“陆总,都在中心呢。”

一行人驱车来到僻静的三体实验基地,沿途布满了安保人员,路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房,表面看上去,非常不起眼。

一下车,来到换装间,陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧,以及职工。

苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将,即便半步踏入轮值董事会,也没有资格第一时间参观,消息还封锁在最高统帅部一级。

“陆总。”

梁孟松、尹志尧等人喊了一声。

“走吧。”

陆飞换好装备,穿过走廊,墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。

头顶,悬挂着一条条横幅,都是激励士气的口号语,其中最显眼的莫过于——

“搞出光刻机,挺直腰杆子!”

“陆总,这就是我们自主研发的65nmArF干式光刻机,由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克,下一步就是预生产,在生产中不断改进完善,然后逐步实现量产化。”

孙红军兴奋至极,“预计一到两年,就能全部替代掉ASML和尼康的65nm光刻机。”

“还是自己的机器香啊!”

陆飞透过玻璃,看着工作人员有条不紊地操作,余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲,“这么难得的好日子,你们怎么看上去不是很高兴啊,难道是光刻机还有什么质量上的问题,或者技术上的缺陷?”

“陆总,设备没有问题,技术也没有问题,就是……就是有一个坏消息……”

尹志尧一脸为难。

“什么坏消息?”

陆飞鼓励道:“没关系,说出来,不说出来,我们又怎么想办法解决呢?”

“陆总,ASML研发出了全球第一台EUV光刻机,已经送到三星的研究机构预生产。”

尹志尧无奈地叹了口气。

“你看你,又急。”

陆飞挑了挑眉,倍感意外,这么凑巧!

EUV光刻机的出现,相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代,遥遥领先于他们。

第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主,只适用于5μm以上制程。

之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机,制程精度来到了350到500nm。

这两代都只能算是接近式光刻机,到了第三代扫描投影式光

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